Specialty Gas

가스
삼불화질소는 특수가스의 하나로 전자산업에 쓰이는 고순도 가스입니다.

삼불화질소 (NF3)

삼불화질소
NF3 는 반도체, LCD, 태양전지의 제작 시 사용되는 CVD(Chemical Vapor Deposition) Chamber
세정(Cleaning)용 특수가스입니다.

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